İon şüa konusları

SIKAIDA İon Şüa Konusları ion şüasının implantasiyası və ötürülməsi sistemlərinin əsas komponentləridir. Yüksək təmizlikdə qabaqcıl keramika materiallarından hazırlanmış və dəqiq injection qəlibləmə və yüksək temperaturda sinterləmə yolu ilə emal edilmiş, onlar son dərəcə aşağı çirk tərkibi, yüksək temperatur müqaviməti və sabit ölçülü dəqiqliyə malikdir. Onlar son dərəcə yüksək tolerantlıq tələblərinə cavab vermək üçün mürəkkəb həndəsələrdə emal edilə bilər və bu, onları yüksək performanslı yarımkeçirici ion implantasiyası prosesləri üçün uyğun edir.

Çində peşəkar istehsalçı olaraq, SIKAIDA dünya üzrə müştərilərinə yarımkeçirici, düz panel ekran, optika, mikroelektromexaniki sistemlər (MEMS) və günəş enerjisi sahələrində etibarlı, sərfəli və fərdiləşdirilə bilən ion şüa konusları təqdim edir. SIKAIDA etibarlı uzunmüddətli təchizatçı və yüksək səviyyəli ion şüa prosesi komponentləri üçün xüsusi istehsal zavodudur.

Materiallar və İstehsalat

1. Materiallar

İon Şüa Konusları saflığı ≥99,9% olan alüminium oksidi (Al₂O₃), saflığı ≥99,5% olan silisium nitridi (Si₃N₄), saflığı ≥8%,99.99.99% olan sirkonium oksidi (ZrO₂) daxil olmaqla materiallardan istifadə edir. Bütün materiallar yarımkeçirici sənayenin ciddi təmizlik standartlarına cavab verir və müxtəlif tətbiqlərin performans tələblərinə uyğundur.

2. İstehsal prosesi

İstehsal prosesi dəqiq injection qəlibləmə, yüksək temperaturda sinterləmə, CNC dəqiq emal, güzgü səviyyəli cilalama və avtomatlaşdırılmış təmizləmə və sınaqdan ibarətdir. Son məhsulun sənaye standartlarına və müştəri tələblərinə cavab verməsini təmin etmək üçün hər bir proses dəqiqlik və keyfiyyət baxımından ciddi şəkildə yoxlanılır.

Əsas Məhsul Parametrləri

1. Ölçü Dəqiqliyi

İon Şüa Konusları ±0,05 mm, səth pürüzlülüyü Ra≤0,4μm, daxili dəliklərin daralma dəqiqliyi ±0,02 mm, koaksiallıq ≤0,03 mm və perpendikulyarlıq ≤0,02 mm daxilində idarə olunan toleranslara malikdir. Bu son dərəcə yüksək ölçülü dəqiqlik ion şüalarının ötürülməsinin dəqiqliyini effektiv şəkildə təmin edir.

2. Səthin təmizlənməsi

Səthi emallara güzgü üçün mexaniki cilalama, səthin xüsusiyyətlərini artırmaq üçün UV ilə müalicə olunan örtüklər, aşınma müqavimətini artırmaq üçün cızıqlara davamlı örtüklər, çirkləri təmizləmək və sabitliyi yaxşılaşdırmaq üçün turşu turşusu və passivasiya daxildir. Müvafiq müalicə üsulları tətbiq tələblərinə əsasən seçilə bilər.

3. Performans Göstəriciləri

İon Şüa Konusları -196 ℃ ilə + 800 ℃ temperatur diapazonunda işləyir və ekstremal temperatur mühitlərində sabit işləməyi təmin edir. Onlar əla izolyasiya xüsusiyyətləri nümayiş etdirərək ≥10¹⁴Ω·cm həcm müqavimətinə və ≥10¹²Ω səth müqavimətinə malikdirlər. Onlar həmçinin mürəkkəb proses mühitlərinə uyğunlaşmağa imkan verən plazma və kimyəvi korroziyaya qarşı əla müqavimətə malikdirlər.

Əsas üstünlüklər

1. Ultra yüksək təmizlik: Xammalın təmizliyi 99,9%-i ötür, yarımkeçirici vaflilərin çirklənməsini minimuma endirir, cihazların sabit elektrik işini təmin edir və yarımkeçirici istehsalının ciddi təmizlik tələblərinə cavab verir.

2. Son dərəcə Yüksək Həndəsi Dəqiqlik: Kütləvi istehsal zamanı məhsulun ardıcıl ölçülərini təmin edir, ±0,05 mm və dairəvi xəta ≤0,02 mm daxilində idarə olunan konik xəta ilə ion şüası ötürülməsi sistemlərinin quraşdırma və istifadə tələblərinə dəqiq uyğun gəlir.

3. Güzgü kimi Səthin Keyfiyyəti: Səthin pürüzlülüyü Ra≤0.4μm, ion şüalarının səpilməsini effektiv şəkildə azaldır, ion şüalarının ötürülməsinin vahidliyini yaxşılaşdırır və yarımkeçirici cihazların implantasiya dəqiqliyini daha da optimallaşdırır.

4. Geniş Temperatur Aralığının Sabitliyi: Dərin kriogendən yüksək temperatura qədər mühitlərdə stabil işləyir. Material son dərəcə aşağı istilik genişlənmə əmsalına malikdir, hətta temperatur dəyişiklikləri ilə əla ölçülü sabitliyi qoruyur, temperatur dəyişkənliyindən performans təsirlərinin qarşısını alır.

5. Əla İzolyasiya və Korroziyaya Müqavimət: İon şüasının ötürülməsi zamanı yük yığılmasının effektiv qarşısını alır və güclü turşulara, güclü qələvilərə və müxtəlif plazma korroziyalarına tab gətirir, mürəkkəb proses mühitlərində uzunmüddətli sabit işləməyi təmin edir.

Fərdi Xidmətlər

Məhsul modelləri və ölçüləri müxtəlif proses tələblərinə uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər. Dəstəklənən rəsm formatlarına STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF və fiziki nümunələr daxildir. Çatdırılma müddətinə gəldikdə, nümunənin çatdırılması 4-7 həftə, partiyanın çatdırılması isə 8-12 həftədir. Keyfiyyət sistemimiz ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH və SEMI standartlarına uyğundur, məhsulun keyfiyyətini və çatdırılma səmərəliliyini hərtərəfli təmin edir.

Tətbiq Sahələri

İon şüa konusları yarımkeçirici istehsalında ion implantatorları, düz panel displeylərdə emal avadanlığı, optik cihazların istehsalında ion şüası çökdürmə (IBD) və ion şüası ilə aşındırma (IBE) sistemləri, mikroelektromexaniki sistemlər (MEMS) istehsalı, ion elementləri və implantasiya üçün enerji prosesləri üçün avadanlıqlar daxil olmaqla bir çox sahələrdə geniş istifadə olunur. izolyasiya edilmiş qapılı bipolyar tranzistorlar (IGBTs) və güc MOSFETləri.

Tez-tez verilən suallar:

S1: İon şüa konuslarında adətən hansı materiallar istifadə olunur?

A1: Biz ilk növbədə yüksək təmizlikli alüminium oksidi (Al₂O₃), silisium nitridi (Si₃N₄) və sirkonium oksid (ZrO₂) kimi qabaqcıl keramika materiallarından istifadə edirik. Bu materiallar son dərəcə yüksək təmizliyə, əla yüksək temperatur müqavimətinə və sabit elektrik xüsusiyyətlərinə malikdir.

S2: UET xüsusi spesifikasiyalar və səth müalicəsi təmin edə bilərmi? 

A2: Bəli. UET sizin proses tələblərinizə uyğun olaraq konusların ölçüsünü, konikliyini, material növünü və səthi emalını fərdiləşdirə bilər. Bizim geniş istehsal təcrübəmiz var və müştərilərin xüsusi tətbiq tələblərinə cavab verə bilirik.

Q3: İon şüa konuslarının dəqiqliyinə və keyfiyyətinə necə zəmanət verilir?

A3: Biz ISO9001:2015 keyfiyyət idarəetmə sistemini qəbul edirik və məhsulların hər partiyasının ciddi sənaye standartlarına cavab verməsini təmin etmək üçün koordinat ölçmə maşını, səth pürüzlülüyünü yoxlayan cihaz və rentgen floresan spektrometri daxil olmaqla yüksək dəqiqlikli sınaq avadanlığı ilə təchiz edilmişik.

S4: Çatdırılma dövrü nədir?

A4: Nümunələrin çatdırılması dövrü 4-7 həftə, toplu məhsulun çatdırılması dövrü isə 8-12 həftədir. Xüsusi dövr məhsulun mürəkkəbliyindən və sifariş miqdarından asılıdır.